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Hauptmerkmale
Glas-Metall-Versiegelungstechnologie
Die Füße und der Sockel sind mit Glassinterung versiegelt und sorgen so für zuverlässige Luftdichtheit.
4-Pin-Drucksensor-Layout
Das 4-Pin-Layout ist für die Brückenschaltung des Drucksensors optimiert.
Druckleitungsdesign
Die Basis integriert eine Druckleitstruktur, um die Druckmessung zu erleichtern.
Kundenspezifisches Design verfügbar
Pin-Layout und Grundstruktur können je nach Kundenwunsch angepasst werden.
Drucksensor
Geeignet für die Verpackung von Drucksensorchips.
Industrielle Druckmessung
Geeignet für industrielle Drucktransmitter, Manometer und andere Geräte.
Druckgefühl im Auto
Geeignet für die Verpackung elektronischer Drucksensoren im Automobilbereich.
Professionelles Drucksensor-Layout
Das Pin-Layout ist speziell für Drucksensorschaltungen optimiert.
Ausgereifter GTMS-Prozess
Unterstützt durch eine ausgereifte Technologieplattform für die Glas-Metall-Versiegelung.
Schnelle Anpassung der Reaktion
Kann schnell auf die individuellen Strukturanforderungen der Kunden reagieren.
Der 4-polige Drucksensoranschluss nutzt eine Glas-Metall-Dichtungstechnologie, um die 4 Stifte und die Metallbasis in einem Gehäuse zu versintern. Der Glasisolator sorgt für elektrische Isolierung und hermetische Abdichtung zwischen den Stiften. Der druckempfindliche Chip ist auf der druckempfindlichen Oberfläche der Basis installiert.
Nachdem Kappe und Basis miteinander verschweißt sind, bilden sie einen luftdichten Hohlraum, der den inneren Wafer vor Umwelteinflüssen schützt.
| Parameterspezifikationen | |
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| Material | Kovar, SPCC |
| Verfahren | GTMS |
| Temperaturniveau | Hohe thermische Stabilität |
| Luftdichtheit | ≤1×10⁻⁹Pa·m3/s |
| elektrische Isolierung | >5000 MΩ (DC 100 V) |
| Oberflächenbehandlung | Vernickelung, Vergoldung |
| Dimensions | Kundenspezifisches Design verfügbar |
| Paket | Standardverpackung |
| Anwenden | Drucksensoren, industrielle Druckmessung, Automobil-Druckmessung |